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主动磁场消除

名称EE/span> 主动磁场消除

型号EE/span> Mag-NetX

品牌EE/span> TMC

  • 详绁E息

概述

Mag-NetX设计用于任何带电束仪器E是一种E新皁E动控制系统，可补偿磁场波动。通迁E数字接口皁E拟控制器EMag-NetX具有更实时皁E振和连续监控功EE同时为用户提供亁E个简单的冁ELCD或E于PC皁E形用户界面EEUIE。通E续监控GUI显示皁E量字段E可在不依赖于显微镜图像的惁EE下进行微谁E另外，E动谁E使典型SEM应用皁E动变得更加简单、E/p>

 

亥姁E兹型E置釁E独立式笼E安裁E室冁E壁轨道上E直接安裁E外壳冁EE可根据您皁E求和应用配置Mag-NetX、E/p>

 

TMC可满足您皁E描和透封E微镜、电子束光刻和离子束仪器在磁场补偿和振动控制方面**苛刻皁E、E/p>

 

Mag-NetX皁E势

带数字接口皁E拟控制器 - 亥姁E兹型线圈的模拟控制可实现更**皁E时消振。数字面板为用户提供简单的LCD读数或基于PC皁E形用户界面EEUIE、E/p>

 

现场谁E皁EE活性 - 在启动时针对典型环墁E应用进行E动谁EEE针对更具挑E性皁EEE行可谁E现场谁E、E/p>

 

实时监控 - 通迁E算机GUI显示皁E量字段进行连续监控E甚***可在不依于显微镜图像惁EE下进行微谁EE/p>

 

特点

▪ 亥姁E兹线圈对具朁E*皁E称性和均匀性

▪ 连续现场消振和监控

▪ 有多种交流和直流消振模弁E/p>

▪ 100倍现场改进（E型值EE/p>

▪ 动态、E00 μs响庁E/p>

▪ **皁E场测量

▪ 具有连续系绁E监控和E析的图形用户界面

▪ 可的E路频率和谐波皁E馈补偿

▪ 可选的其他输E前馈功能

▪ 可选的自定义字段创建E同时抑制干扰

▪ 易于绁EE不锈钢笼E也可提供室冁E安裁E系绁E/p>

▪ 可提供任何尺寸皁E系绁E/p>

▪ 壁安裁E和外壳安裁EE置匁E阻燁E电缁E/p>

 

性能

见E

系绁E/strong>
系统绁E 3轴正交磁传感器、Mag-NetX控制器、笼冁E姁E兹线圈对、外壳安裁EE壁安裁EE置
主动磁场消除轴 X、Y、Z
传感器类垁E/td> 磁E门型，噪声 <10 pT/>基数EHz @ 1 Hz
**环墁E流场E取决于传感器EE/td> ±70 μT栁E
可提供高达±250 μT
带宽E取决于笼和传感器EE/td> 直流EE kHz典型值EE*高可达2 kHz
动态范围E取决于笼和频率EE/td> 典型值±10 μTEE*髁Eplusmn;100 μT
典型值40 dBEE*55 dB
控制体积与磁场磁E寁E 50 m3 @10 μT RMSE取决于笼参数EEbr /> 1 m3 @ 50 μT RMSE栁E控制器能够通迁E殊的笼结构消除地琁E场EEbr /> 10 m3 @ 50 μT RMSE用于通迁E殊的笼和外部放大器来消除更大体积皁E琁E场EE/td>
传感器位置皁E减少率
使用36 x 36 x 52英寸/
91 x 91 x 132厘米E长 x 宽 x 高）的典型笼EE/td> 		直流E00 Hz时皁E0 - 50 dBEE00x - 300xEE型值
100-500 Hz时皁E6 dBEE0xEE型值
典型电孁Ebr /> 显微镜柱体积
12 x 12 x 24英寸/30 x 30 x 60厘米中皁E减少率
使用60 x 60 x 84英寸/
152 x 152 x 213厘米E长 x 宽 x 高）的笼		 X、YE直流E00 Hz时皁E0 dBEE2xEE型值
X、YEE00-500 Hz时皁E0 dBEE0xEE型值
ZE直流E00 Hz时皁E5 dBEE.2xEE型值
ZEE00-500 Hz时皁E0 dBEExEE型值
0 dB @ 1000 Hz


控制器
尺寸 17 x 9 x 1.75英寸/43 x 23 x 4.5厘米
操作模弁E/td> 通电后！Ebr /> ▪ 自动自检/校凁E并在1刁E冁EE换到控制模式。无需用户参与、Ebr /> ▪ 手动测证E谁E模弁Ebr /> ▪ 真正皁E流模式（补偿地琁E场EEbr /> ▪ 偏置直流模式（忽略地琁E场EEbr /> ▪ 跟踪显微镜运动零件引起皁E流漂移
▪ 凁E流模式（忽略> 100秒波动EEbr /> ▪ 取消和创建E同时取消干扰和E建自定义字段EE/td>
控制工具皁E垁E/td> ▪ 数字控制增益皁E拟反馈，DC - 2 kHz
▪ 数字反馁Ebr /> ▪ 数字前馈（取消交流线路电源频率和谐波E而没有反馈的增益稳定性限制EE/td>
状态LED持E灯 绿色=正常E黁E=警呁E错误
LCD 2x20符号显示 显示菜单和状态E/td>
条形LED持E灯 显示XYZ补偿场皁E时强度
4个方向按钮 用于LCD菜单导航
USB插槽
E在PC上显示为COM端口EE/td> 		用亁E*谁E/测试的图形用户界面E接受ASCII命令和显示菜单
辁E模拟输E端E后DB-37EE/td> 可以用作前馈E创建自定义字段
通行和不通行信号继电器 二进制E用作受保护系统的输E端
电源要汁E/td> 90-240 VACEE0/60 HzEE*500 VA、E/td>

 

亥姁E兹线圈笼配置

柱安裁E亥姁E兹线圁E/strong>

安裁E柱上的亥姁E兹线圈很容易适应SEM柱E佁E对TEM来说却不E实际、E/p>

 

地面安裁E亥姁E兹线圁E/strong>

地面安裁E亥姁E兹线圈可用于SEM和TEM、E/p>

 

腿架上的亥姁E兹线圁E/strong>

亥姁E兹线圈可以安裁ETMC腿架上、E/p>

 

亥姁E兹线圈壁裁EE置

壁安裁E线圈是安裁E房间中忁E近ETEM和SEM皁E和地面安裁E线圈的实用替代品、E/p>

 

 

1、特殊设计可安裁E被动屏蔽室冁E/p>

2、两件式防篡改PVC额定功玁E道裁E直接安裁E墙壁丁E皁E姁E兹型电缁E/p>

3、E有独立X-Y-Z引线皁E噪声DC-5 kHz磁E门传感器是栁E配置E还有多种传感器和传感器配置可供择

4EE用于所有壁安裁E室冁E统的阻燁E缁E/p>

5、用于门槛的铝盖E可在现场刁E和修剪到适当的尺寸

6、PVC铝地板E槛，可在需要时刁E大型房间

 

 

控制器和传感器

 

典型的传感器安裁E弁E/strong>

 

应用说昁E/strong>

Mag-NetX®

蔡司Auriga FIB-SEM在用带Mag-NetX®的SEM-Base®之前和之后皁E僁E/p>

Mag-NetX®

Bartington Instruments皁E力计用于消除场和E定义E建磁

 

应用照牁E/strong>

 

 

 

 

 

夁E号EEnbsp;