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主动隔振平台系绁E/h4>

名称EE/span> 主动隔振平台系绁E/span>

型号EE/span> STACIS III

品牌EE/span> TMC

  • 详绁E息

主动隔振平台概述

STACIS® III是一种E活主动隔振系统。STACIS主动隔振平台系统采用**皁E性振动传感器、E*皁E制算法和压电致动器E通迁E续测量地面活动E然后扩展和收缩压电致动器来迁E地面运动E以实时消除振动、E/p>

 

STACIS**初设计用于隔离**半导体工厂中皁E寁E刻、计量和检测设夁E现已成为嘈杂环墁E包括佁E限于半导体工厂、失效E析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中忁E中**敏感仪器皁E业栁E解决方案、E/p>

 

STACIS III主动隔振平台系统包括一个**皁E进型数字控制器DC-2020。这款**皁E*控制系统在前后面板上采用亁E皁E核夁E器、以太网以及USB串行端口E为用户提亁E代化且E于使用皁E形用户界面EEUIE。STACIS在全琁E拥有数百E成功皁E裁E例，是琁E皁E振系统，适用于对振动**为敏感皁E器、E/p>

 

 

主动隔振平台系统STACIS III皁E势

STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。宁E朁Eldquo;软”悬架E与主动空气系统不同ESTACIS可以放置在带有E部主动空气隔振系统的工具下方E使两个系统E在**状态下运行、E/p>

 

独特皁E行设计和专有皁E力压电E术E可实现0.6 Hz***150 Hz皁E主动带宽和仁E Hz开始减振90EE**主动隔振性能、E/p>

 

主动隔振平台系统STACIS III特征E/strong>

▪ **新改进型DC-2020数字控制器E提侁E易于使用皁E形用户界面

▪ 隔振开始亁E.6赫兹EEHz时达40EE**70EE隔离玁E/p>

▪ 频率2赫兹咁E更高时E垂直和水平隔振玁E亁E0EE/p>

▪ 降低基E设施皁E求和建设成本E即使有辁E外界霁E设夁E可正常迁E衁E/p>

▪ 有效隔振茁EEE.6Hz到150Hz

▪ 获得众多用户皁E泛认可和肯宁E/p>

▪ 6向E由度硬安裁E计E无需空气悬架

▪ 强大皁E制统无需定期重新校凁E/p>

▪ point-of-use设计方E，与客户现有隔振系统无缝E容

▪ 随着外部环墁E变，系统E动谁E以适不同外部霁E惁E形

▪ TMC的STACIS®技术使用E电执行器主动消振

▪ 数字控制器与基于PC皁E形用界面EEUIEE/p>

▪ 提高客户产品产量、质量、E品率、E/p>

▪ 符吁EoHS栁E

▪ **宽E主动隔振带宽EE*皁E频隔振效果

▪ 亚赫兹皁E动霁E消除EE*主要在0.6-6Hz频段冁EE振

▪ 可堁E式设计

▪ 主动硬式安裁E、而非软式悬浮、无低频漂移、主动允E与E性弹相迁E/p>

▪ 被动弹簧滤除亁E自STACIS传感器皁E载谐振E需要的谁E非常少，甚***无需谁EE/p>

▪ 由于阻抗不匹配，可兼E仪器冁E隔离器

▪ 负载可达2000kg

▪ 市场丁E*皁E动隔振系绁E/p>

 

主动隔振平台性能

使用VC-CEE00 μ英寸/秒！E2.5 μ米/私ERMSE的模拟E来测证E500磁EE045十EEE有效载荷

 

主动隔振平台见E

性能见E

主动自由度 6
主动带宽 0.6 Hz - 150 Hz
被动固有频率 18 Hz垂直和水平
有效皁E动共振频率 0.5 Hz
1 Hz时皁E振 40% - 70%
≥2 Hz时皁E振 ≥90%
10磁EE.5十EEE步进输E后的稳定时间E减封E0:1EE/td> 0.3私E/td>
冁E噪音 <0.1 nm RMSd>
每个隔振器皁E作负载茁E 低承重E力！E00 - 1100磁EE81 - 499十EEEE/td>
中等承重E力！E00 - 2100磁EE08 - 953十EEEE/td>
高承重E力！E900 - 4500磁EE62 - 2041十EEEE/td>
刚度EE000磁E/ 454十EE质量、中等承重E力隔振器EE/td> 40,000磁E英寸(73 x 105牁E米)
从距离隔振器**4英寸EE02毫米E夁E封E磁场 <0.02 μG broadband RMSd>

隔振器设计、尺寸、环墁E效用要汁E/strong>
环墁E安E 符吁EE和RoHS栁E
主动隔振允E **小承重E力为3300磁EE500十EEE的压电致动器接收来自高压放大器皁E号EE输E高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振皁E效载荷
被动隔振允E 单个硬质吁E同性弹性体（无需压缩空气源！E/td>
振动传感器允E 向下的地霁E波器型惯性传感器E用于测量隔振器下方皁E面振动E并提供与振动运动速度成正比的电厁E/td>
主动反馈控制回路 在支撑隔振表面皁E簧下方测量、夁E和衰减地面振动
隔振器尺寸E宽 x 深 x 高！E/td> 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm
隔振器重量 75磁EE4十EEEE/td>
工作温度 50° - 90°F
10° - 32°C
储存温度 -40° - 130°F
-40° - 55°C
湿度 30 - 60%
系统电源要汁E/td> 100、E20、E30、E40 VAC
50/60 Hz ACEE<600 W
符吁EE栁E
地面位移 <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每个系统的隔振器数釁E/td> ***封E个
可选附件 层压不锈钢平台、桁E、立管、谁E裁E、抗霁EE、提十E

DC-2020控制器见E
尺寸E宽 x 深 x 高！E/td> 19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm
重量 6.3磁EE.9十EEEE/td>
夁E器 150/75 MHz双核
釁E玁E/td> 10 kHz
模拟输E 16个通道
模拟输E 16个通道
状态E 单个LED
前面板端口 1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC
后面板端口 1个串行USB 2.0
1个以太网RJ-45
1个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器
用户界面 前面板液晶显示屁Ebr /> 趁E终端上的字符菜单
适用于Microsoft Windows皁E展GUI
嵌E式以太网GUI

STACIS用户及应用颁E

1、微电子、半导佁E/p>

▪ 晶牁E流E/p>

▪ 显微光刻技术

▪ 掩膜校凁E/p>

2、科学研究、纳米技术

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3、激光台

▪ 生命科学、药物研发

4、工业应用

▪ 精寁E工 

 

为什么要E择主动隔振系统！E/strong>

▪ Elt;1Hz开始强烈消除地面霁EE气动平台在这一低频夁E法起到有效皁E振

▪ 提高质量、生产釁E/p>

▪ 更加绁E特色皁EE像E劁E/p>

▪ **研究

▪ 比气动平台更稳宁E/p>

▪ 满足SEM栁E地点安裁E数皁E*解决方桁E/p>

▪ 使得新实验室及研究设夁E工程造更佁E/p>

 

主动隔振系统为何选择STACIS

▪ 正E亁E研老E皁EEE提供亁E可能**皁E霁E墁EE/p>

▪ 市场丁E*强劲皁E频隔振系统、E/p>

▪ 目前所有的SEM厂商都公币EE裁E数要求，E需要的霁E参数需要主动隔振系统才能满足、E/p>

▪ STACIS**发E亁E990sE经TMC进一步发展，开发和安裁EE以十E皁E动振系统，这是主动隔振控制颁E皁E供的可靠解决方案、E/p>

 

STACIS相比气动隔离器刚性大几百倁E/strong>

稳定时间作为对扰动皁E应，由于独特皁E联式设计E而大大缩短E理想应用于机械制造、动态负载、激光E老EE源需要安裁E独立E性台面皁E况下、E/p>

 

如下优势在业E都是**皁E/strong>

▪ STACIS皁E动隔振带宽为0.6Hz -150Hz

▪ 6个自由度皁E动霁E消除E在1Hz时振8-10dB 

▪ 仁E-3Hz时E隔振可达90% (20dB) 

 

**皁E墁EE

1E安E后的环墁EEE包括霁E、磁场、声波

2、安裁E可提供环墁E统体系认证E/p>

▪ 完善皁E墁EE服务

▪ 开具**环墁E呁E/p>

▪ 提供震动、磁场、声波检测及解决方桁E/p>

▪ TMC于E广泛经验向用户**实用性方桁Enbsp;

▪ 40多年皁E业经验，业E皁E*

 

应用照牁E/strong>

主动隔振平台
主动隔振平台
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夁E号EEnbsp;