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主动隔振平台STACIS IIIc

名称EE/span> 主动隔振平台STACIS IIIc

型号EE/span> STACIS IIIc

品牌EE/span> TMC

  • 详绁E息

概述

STACIS IIIc是STACIS III**主动隔振系统的紧凑型版本。宁E减小的高度下提供亁E样**皁E振性能、E/p>

STACIS IIIc非常适合在没有E地板很低的活动地板上使用E因为栁ESTACIS III系统的高度会使仪器迁E、E/p>

在三隔离器配置中E隔E器高度小于常规STACIS III高度皁E0EE在具朁E个以上隔离器皁E统中E高度封E60EE70EE间EE体取决于有效负载设置。有关详绁E息E请参见下面皁EE、E/p>

 

 

STACIS IIIc优势

与常规STACIS III系统相比，隔离E高度**多降佁E2EE而性能却没有降低、E/p>

STACIS比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。宁E朁Eldquo;软”悬架E与主动空气系统不同ESTACIS可以放置在带有E部主动空气隔振系统的工具下方E使两个系统E在**状态下运行、E/p>

独特皁E行设计和专有皁E力压电技术 

可实现0.6 Hz***150 Hz皁E主动带宽和仁E Hz开始减振90EE**主动隔振性能、Ebr />  

性能


4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C 
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

 

性能见E

见E

主动自由度 6
主动带宽 0.6 Hz - 150 Hz
被动固有频率 18 Hz垂直和水平
有效皁E动共振频率 0.5 Hz
1 Hz时皁E振 40% - 70%
≥2 Hz时皁E振 ≥90%
10磁EE.5十EEE步进输E后的稳定时间
E减封E0:1EE/td> 		0.3私E/td>
冁E噪音 <0.1 nm RMSd>
每个隔振器皁E作负载茁E 低承重E力！E00 - 1100磁EE81 - 499十EEEEbr /> 中等承重E力！E00 - 2100磁EE08 - 953十EEEEbr /> 高承重E力！E900 - 4500磁EE62 - 2041十EEEE/td>
刚度EE000磁E454十EE质量、中等承重E力隔振器EE/td> 40,000磁E英寸(73 x 105牁E米)
从距离隔振器**4英寸EE02毫米E夁E封E磁场 <0.02 μG broadband RMSd>

 

隔振器设计、尺寸、环墁E效用要汁E/strong>

环墁E安E 符吁EE和RoHS栁E
主动隔振允E **小承重E力为3300磁EE500十EEE的压电致动器接收来自高压放大器皁E号EE输E高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振皁E效载荷
被动隔振允E 单个硬质吁E同性弹性体（无需压缩空气源！E/td>
振动传感器允E 向下的地霁E波器型惯性传感器E用于测量隔振器下方皁E面振动E并提供与振动运动速度成正比的电厁E/td>
主动反馈控制回路 在支撑隔振表面皁E簧下方测量、夁E和衰减地面振动
隔振器尺寸E宽x深x高！E/td> 14.45 x 14.26 x 6.16* in.
367 x 362 x 157* mm
 
* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
隔振器重量 53磁EE4十EEEE/td>
工作温度 50° - 90° F
10° - 32° C
储存温度 -40° - 130° F
-40° - 55° C
湿度 30 - 60%
系统电源要汁E/td> 100、E20、E30、E40 VAC
50/60 Hz ACEE<600 W
符吁EE栁E
地面位移 <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每个系统的隔振器数釁E/td> ***封E个
可选附件 层压不锈钢平台、桁E、立管、谁E裁E、抗霁EE、提十E


DC-2020控制器见E

尺寸E宽 x 深 x 高！E/td> 19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm
重量 6.3磁EE.9十EEEE/td>
夁E器 150/75 MHz双核
釁E玁E/td> 10 kHz
模拟输E 16个通道
模拟输E 16个通道
状态E 单个LED
前面板端口 1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC
后面板端口 1个串行USB 2.0
1个以太网RJ-45
1个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器
用户界面 前面板液晶显示屁Ebr /> 趁E终端上的字符菜单
适用于Microsoft Windows皁E展GUI
嵌E式以太网GUI

STACIS用户及应用颁E
1、微电子、半导佁Ebr /> ▪ 晶牁E流Ebr /> ▪ 显微光刻技术
▪ 掩膜校凁Ebr /> 2、科学研究、纳米技术
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3、激光台
▪ 生命科学、药物研发
4、工业应用
▪ 精寁E工
 
为什么要E择主动系统！E/strong>
▪ 仁Elt;1Hz开始强烈消除地面霁EE气动平台在这一低频夁E法起到有效皁E振
▪ 提高质量、生产釁Ebr /> ▪ 更加绁E特色皁EE像E劁Ebr /> ▪ **研究
▪ 比气动平台更稳宁Ebr /> ▪ 满足SEM栁E地点安裁E数皁E*解决方桁Ebr /> ▪ 使得新实验室及研究设夁E工程造价更佁Ebr />  
主动系统为何选择STACIS
▪ 正中亁E研老E皁EEE提供亁E可能**皁E霁E墁EEbr /> ▪ 市场丁E*强劲皁E频隔振系统、Ebr /> ▪ 目前所有的SEM厂商都公币EE裁E数要求，E需要的霁E参数需要主动隔振系统才能满足、Ebr /> ▪ STACIS**发E亁E990sE经TMC进一步发展，开发和安裁EE以十E皁E动隔振系统，这是主动隔振控制颁E皁E供的可靠解决方案、Ebr />  
STACIS相比气动隔离器刚性大几百倁E/strong>
稳定时间作为对扰动皁E应，由于独特皁E联式设计E而大大缩短E理想应用于机械制造、动态负载、激光E老EE源需要安裁E独立E性台面皁E况下、Ebr />  
如下优势在业E都是**皁E/strong>
▪ STACIS皁E动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
▪ 6个自由度皁E动霁E消除E在1Hz时隔振8-10dB 
▪ 仁E-3Hz时E隔振可达90% (20dB) 
 
**皁E墁EE
1、安裁E后的环墁EEE包括霁E、磁场、声波
2、安裁E可提供环墁E统体系认证Ebr /> ▪ 完善皁E墁EE服务
▪ 开具**环墁E呁Ebr /> ▪ 提供震动、磁场、声波检测及解决方桁Ebr /> ▪ TMC基于E广泛经验向用户**实用性方桁Enbsp;
▪ 40多年皁E业经验，业E皁E*
 
应用照牁E/strong>

夁E号EEnbsp;