地面式主动隔振平台STACIS Quiet Island
名称EE/span> 地面式主动隔振平台STACIS Quiet Island
型号EE/span> STACIS Quiet Island
品牌EE/span> TMC
- 详绁E息
概述
半导体制造工厂、纳米技术中忁E纳米工厂和其E精寁E造和研究中忁E常封E净室与活动偁E面系统结合在一起E以满足复杂皁E施要求（管道、电缁E燃气管道等）和保E严格皁EE栁E。这种地面不适用于对振动敏感皁E产、检测和计量设夁E活动地面无法为这些工具提供忁E的安静振动环墁ETMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岁Erdquo;替换一部刁E动地面区域，提供亁E种E新皁E决方案。Quiet Island匁E一个兼容洁净室皁E台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构、E/p>
消振
Quiet Island**皁E要支撑E件和核忁E术都雁EE在STACIS III主动消振系统中。这私Eldquo;刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器皁E想选择E宁E此类工具能够在嘈杂皁E墁E以**高栁E运行。STACIS III兼容自动化晶圁E工工具、EE辨玁E子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有被动或主动冁E隔振系统的工具E请参E我们关于在主动隔振器上堁E主动隔振器皁E皮书E。此外，宁E提供亁E*宽频率茁E冁E**隔振性能。丁Eldquo;硬安裁Erdquo;设计非常坚硬E因此对于辁E、上重下轻皁E具E不会E现稳定性问题、E/p>
立管和支架
用于支撑STACIS隔振器皁E*坚固耐用皁E管由TMC经验丰富的工程团队设计E并由我们的ISO 9001工厂按照高栁E和焊接认证见E制造。每个Quiet Island都经迁E忁E计E适合吁E活动面高度、底层地面几何形状和工具尺寸。TMC在全琁E裁EE十EE撁E00多种不同仪器型号皁EEE拥有丰富的知证E经验，可以设计满足STACIS和您设施需求的支撑结构、E/p>
刚性平台
该平台由一个经TMC设计和制造皁E英寸EE00毫米E厚皁E板夹层绁EEEE中钢板夹在一种轻质、不可压缩、E尼皁E材料周围。E性钢板和芯用环氧树脂粁E合到一个无缝不锈钢盘中皁EE层效果提供亁E*皁EE度和结构阻尼。大横截面和钢含量产生亁E常高的整体E度。顶部和侧面是一个连续皁E体式不锈钢外壳E以保持渁E、美观和完整性。TMC可根据需要设计和制造特定于应用皁E台E包括刁E、特殊形状、固定孔和吊环螺栓、E/p>
Quiet Islands vs. Quiet Buildings
Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]
Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at "as built" and two times thereafter [2]
It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]
The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).
TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.
See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing "Quiet" Buildings article on AZO Nano.
1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source
2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source
Quiet Island皁E势
釁ESTACIS - TMC业界**皁E动厁E电消振技术、Eldquo;硬安裁Erdquo;设计和始亁E.6 Hz皁E振与E置隁E振器皁E具兼容、E/p>
模块化、E定制和重新定位的灵活性 - 每个平台EE根据客户皁E用量身定做E佁E混凝土平台不同E如果工具或地面特性发生变化E这些平台可以很容易地重新进行E置、E/p>
**知证E- TMC拥有丁E*皁E佁E**、科研机极E趁E寁EEM合作的丰富经验。E们亁E客户及E需求。E们自己设计和制造、E/p>
性能
在24英寸高、E0英寸 x 60英寸的Quiet Island、E座STACIS支架上、Ebr /> 来自地面的VC-C输E下测量传递率
见E
性能见E
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效皁E动共振频率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz时皁E振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz时皁E振 | ≥90% |
| 10磁EE.5十EEE步进输E后的稳定时间E减封E0:1EE/td> | 0.3私E/td> |
| 冁E噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每个隔振器皁E作负载茁E | 低承重E力！E00 - 1100磁EE81 - 499十EEEEbr /> 中等承重E力！E00 - 2100磁EE08 - 953十EEEEbr /> 高承重E力！E900 - 4500磁EE62 - 2041十EEEE/td> |
| 刚度EE000磁E454十EE质量、中等承重E力隔振器EE/td> | 40,000磁E英寸(73 x 105牁E米) |
| 从距离隔振器**4英寸EE02毫米E夁E封E磁场 | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器设计、尺寸、环墁E效用要汁E/strong>
| 环墁E安E | 符吁EE和RoHS栁E |
| 主动隔振允E | **小承重E力为3300磁EE500十EEE的压电致动器接收来自高压放大器皁E号EE输E高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振皁E效载荷 |
| 被动隔振允E | 单个硬质吁E同性弹性体（无需压缩空气源！E/td> |
| 振动传感器允E | 向下的地霁E波器型惯性传感器E用于测量隔振器下方皁E面振动E并提供与振动运动速度成正比的电厁E/td> |
| 主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面皁E簧下方测量、夁E和衰减地面振动 |
| 隔振器尺寸E宽x深x高！E/td> |
11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 毫米 |
| 隔振器重量 | 75磁EE4十EEEE/td> |
| 工作温度 |
50° - 90° F 10° - 32° C |
| 储存温度 |
-40° - 130° F -40° - 55° C |
| 湿度 | 30 - 60% |
| 系统电源要汁E/td> |
100、E20、E30、E40 VAC 50/60 Hz ACEE<600 W 符吁EE栁E |
| 地面位移 | <480μin. (12μm) below 10Hzd> |
| 每个系统的隔振器数釁E/td> | ***封E个 |
| 可选附件 | 层压不锈钢平台、桁E、立管、谁E裁E、抗霁EE、提十E |
DC-2020控制器见E
| 尺寸E宽 x 深 x 高！E/td> |
19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
| 重量 | 6.3磁EE.9十EEEE/td> |
| 夁E器 | 150/75 MHz双核 |
| 釁E玁E/td> | 10 kHz |
| 模拟输E | 16个通道 |
| 模拟输E | 16个通道 |
| 状态E | 单个LED |
| 前面板端口 |
1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
| 后面板端口 |
1个串行USB 2.0 1个以太网RJ-45 1个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器 |
| 用户界面 |
前面板液晶显示屁Ebr />
趁E终端上的字符菜单 适用于Microsoft Windows皁E展GUI 嵌E式以太网GUI |
其他参数
| 平台表面 | 不锈钢表面顶部和侧面EEbr /> 环氧涂漁E底部 |
| 平台结构 | 专有皁E层层压钢板 |
| 尺寸 | 量身定制 |
| 栁E高度 |
15、E8、E0、E4、E0、E6、E8英寸 38、E6、E1、E1、E6、E1、E22厘米 还可提供定制高度 |
| 负载能劁E/td> | 量身定制 |
| 刚性立管和支架 | 获认证的焊接、E钢结构EEbr /> 与洁净室兼容皁E末涂层表面 |
| 可选附件 | 限制支架、平台顶部吊环螺栓！Ebr /> 用于格子式底层地面皁E板 |
| 平台顶部版本 | 刁E、E孔、用于固定工具皁E纹孁E/td> |
其仁E/strong>Quiet Island配置
不E有环墁E动见E皁E型仪器通常需要一个与活动地面刁E皁EE性且稳定的支架。E性Quiet Island是琁E皁E决方案。E性Quiet Island具有相同的高性能平台顶部E也可为任何高度、任何底层地面几何形状皁E动地面洁净室以及各种工具尺寸定制设计。TMC提供一系列不同类型的支柱E满足吁E需求，从而形成亁E定于仪器和工厂的模块化、可灵活地重新定位和十E皁E决方案、E/span>
应用照牁E/strong>
由于安裁E我们Quiet Island®底层地面平台上设夁E复杂性、敏感性和价值EE们未创建用于订购皁EE目彁E/span>号、E/span>
我们认为应为特定应用定制设计每平台。建议皁E购步骤如下！E/span>
▪ 告诉E们您要E离皁E夁EE仪E。由于E们已安裁EEE十E丁E裁EEE们可能已有满足您应用要求的平台设计。此外，E们还与步进器、对凁E、SEM和E他工具***保持寁EE联系E因此EE们亁E**新皁E寸、形状、E量变化和地面振动见E、E/p>
▪ 或老E您可能想要一个适合活动地面网格系统的平台。客户通常选择47 x 47英寸EE,190 x 1,190毫米E的平台来替换偶数块砖、E/p>
▪ 告诉E们您皁E动地面高E坚实底层地E皁E度、E/p>
E 请向E们描述或提供一个显示您底层地面或钢梁E格子板几何形状中皁E何孔图案的插图、E/p>
▪ 请向E们提供地面振动数据或与E们讨论如何安排测量这些数据、E/p>
▪ 老E仪器皁E动灵敏度。E们皁EE性、E共振支柱设计为许多工具提供亁EE刁E支撑。更敏感皁E用封E要空E压电支撁E/p>
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