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SEM主动隔振平台SEM-ba<x>se VI

名称EE/span> SEM主动隔振平台SEM-ba<x>se VI

型号EE/span> SEM-base VI

品牌EE/span> TMC

  • 详绁E息

概述

SEM-Base® VI是下一STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜！EEME以及许多聚焦离子束EEIBE和小型双E束仪器。SEM-Base VI具有更好皁E振性能、更快、更强大皁E制器咁E*图形用户界面EEUIE。SEM-Base VI使许多实验室和设施达到亁E足工***见E所需皁E面振动水平、Enbsp;

 

SEM-Base VI釁E独特皁Eldquo;串行结构”EE中皁E动传感器测量地面振动E而不是有效载荷振动。E他设计不同E这确保亁E效载荷共振不会限制隔振或造成不稳定。振动传感器是低频惯性速度传感器E在难以测量皁EHz茁E冁EE朁E*灵敏度。结合我们独特皁E电致动器技术ESEM-Base VI即使在安静皁E面上也E实现**皁E振水平、Enbsp;

 

SEM-Base VI可提供与以前型号平坁EE dB皁E振。此外，TMC皁E一代控制器DC-2020釁E亁E皁E核夁E器E为工具所有老E研究人员提供亁E个非常简单E用皁E形界面E可实现快速系E证E和安E操作。通迁E太网连接时EEDC-2020封E用户皁E览器中创建SEM-Base GUIE无需安裁EE他软件或应用程序。此外，用户也可以通迁E载菜单驱动皁E晶显示器EECDE与控制器连接、E/p>

 

注意：请参见SEM-ClosureE这是一种专为保护SEM而设计皁E体环墁E决方案。宁E以封EEM-Base和Mag-NetX® 固宁E在一个寁E和温控声学室中 - 从而保护SEM免受振动、磁场干扰和声学噪声皁E响、E/p>

 

SEM-Base VI皁E势

硬安裁E术 - SEM-Base VI与所朁EEE部SEM振动控制系统E容E可以仁E.6 Hz开始主动减轻低频地面振动、E/p>

主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高E敏度、低频惯性速度传感器E即使在安静皁E面上也E实现高水平皁E动衰减、Enbsp;

釁E压电技术皁E行设计 - 独特皁E行设计和专有皁E力压电技术可宁E现0.6 Hz***150 Hz皁E主动带宽和仁E Hz开始减振90EE**惯性主动振动消除性能、E/p>

**雁EE式的单平台设计 - SEM-Base VI设计与制造皁E成化E封E裁E台皁E作简化到亁E*E简单的定位与设置E后即可正常工作、E/p>

NOTEEE/strong>可选SEM-ClosureE专门设计用于护SEM皁E整环墁E决方案。在SEM- Closure寁EE音室冁E兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net XE保护SEM免除振动、磁场扰动与波噪音皁E响、E/p>

 

产品特点

▪ STACIS**技术

▪ 主动惯性振动渁E系绁E/p>

▪ 895ÁE124ÁE60 mm (35.25ÁE4.25ÁE.3 in.)送E合绝大多数啁ESEM

▪ 负载能力！E08-1134kg (900-2500 lb.)

▪ 隔振效率1Hz:40-70% 

▪ 隔振效率绁EHi:90% 

▪ 隔振效率EEHz:90-98%

▪ 6个主动自由度

▪ 安裁E易，谁E简十E/p>

▪ 兼容所有设夁EE直皁E动隔离系绁E/p>

▪ 电源！E00-240VAC, 50/60Hz, <600W

▪ 是否需要空气：非气浮系绁E/p>

▪ CE与RoHS认证E/p>

▪ **雁EE式的单平台设计

E 可安裁EE轮E轻松便携移动E无需搬迁E/p>

▪ 兼容SEM-lift系绁E/p>

 

见E

性能见E

主动自由度 6
主动带宽 0.6 Hz - 100 Hz
被动固有频率 栁E值为12 Hz
有效皁E动共振频率 0.5 Hz
1 Hz时皁E振 40% - 70%
2 Hz时皁E振 90%
≥3 Hz时皁E振 90 - 98%
冁E噪音 <0.1 nm RMSd>
工作负载茁E 栁E承重E力！E00 - 2,500磁EE08 - 1134十EEEEbr /> 高承重E力！E,500 - 3,200磁EE134 - 1452十EEEE/td>
磁场发封E英寸EE02毫米E夁E离平台 <0.02 μG broadband RMSd>

 

设计、尺寸、环墁E效用要汁E/strong>

环墁E安E 符吁EE和RoHS栁E
主动隔振允E **小承重E力为3300磁EE500十EEE的压电致动器接收来自高压放大器皁E号EE输E高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振皁E效载荷
被动隔振允E 单个硬弹性体（无需压缩空气源！E/td>
振动传感器允E 向下的地霁E波器型惯性传感器E用亁Ebr /> 测量隔振器下方皁E面振动E并
提供与振动运动速度成正比的电厁E/td>
主动反馈控制回路 在支撑隔振表面皁E簧
下方测量、夁E咁Ebr /> 支撑隔离面
尺寸E宽 x 深EE/td> 35.25 x 44.25英寸
895 x 1124毫米
高度 栁E6.3英寸EE60毫米E！Ebr /> SEM-Base关闭时不会改叁E/td>
工作温度 50° - 90° F
10° - 32° C
储存温度 -40° - 130° F
-40° - 55° C
湿度 30 - 60%
系统电源要汁E/td> 100、E20、E30、E40 VAC
50/60 Hz ACEE<600 W
符吁EE栁E
地面位移 <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

 

冁E控制器见E

夁E器 150/75 MHz双核
釁E玁E/td> 10 kHz
模拟输E 16个通道
模拟输E 16个通道
状态E 单个LED
前面板端口 1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC
用户界面 前面板液晶显示屁Ebr /> 趁E终端上的字符菜单
适用于Microsoft Windows皁E展GUI
嵌E式以太网GUI

性能


使用VC-CEE00 μ英寸/秒！E2.5 μ米/私ERMSE的模拟振动来测证E800磁EE18十EEE有效载荷

 

 

应用说昁E/strong>

应用说昁E/span>
SEM成像

SEM-Base®在使日立S-4800之前和之后皁E僁E/p>

 

SEM成像

蔡司Auriga FIB-SEM在使用带Mag-NetX®的SEM-Base&reg;之前和之后皁E僁E/p>

 

案例E极E/strong>

主动压电消振功E允许在恶劣皁E市环墁E使用**皁E束和子束仪器

 

提高刚石车削质釁E/strong>

**限度地减少表面粗糙度以消除金E石车削智能设EE机镜头模具上的衁E封E色

夁E号EEnbsp;