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主动空气消振器

名称EE/span> 主动空气消振器

型号EE/span> Electro-Damp® II

品牌EE/span> TMC

  • 详绁E息

概述

Electro-Damp®是**款专门用于高半导体制造应用中皁E吐量、E辨玁E产量的啁E主动隔振系统、Electro-Damp II是对原始系统的**重新设计E增加亁E块化、数字控制、前馈、E力/高间隙执行器以及多个专门设计用于OEM应用E如显微光刻、检测和计量工具E的数字用户界面、E/p>

 

 

半导体制造工具对其隔振系统提出亁E互矛盾皁E求。为亁E对地面噪音E系统忁E足够柔软E以有效地迁E地面振动E阻止其到达隔振表面。同时E系统忁E足够坚硬E以应对工作台皁EE以便工作台运动使隔振表面产甁E*小位移并能快速稳定、Enbsp;

 

除亁E用惯性、主动反馈阻尼之外，Electro-Damp II还使用信息前馈来进一步改喁E统响应。前馈从工作台控制器获取E于工作台位置和加速度皁E息E然后夁E这些数据E以向有效载荷提供力驱动E从而大大减少亁E工作台引起皁E效载荷运动。系统可以以数字方式读取前馈信息E作为双极性模拟信号EE通迁E取正交编码器皁EE、EC-2000数字控制器还可以使用工作台测试模式E动谁E前馈所需皁E数。这使得在初始安裁E或在更改有效载荷之后能够快速简便地进行设置、E/p>

 

Electro-Damp II皁E块化设计允许系统单独与电子伺服E一起使用E适用于重型、低加速度应用E妁EMME只与电磁E动一起使用E适用于使用高加速度皁EE工作台EE与两老E合使用E适用亁E*苛刻皁E用E、E/p>

 

特点

▪ 六自由度主动减振系绁E/p>

▪ 非接触式电子高度控制

▪ 数字控制器

▪ 前馈输E校正由工作台引皁E效载荷运动

▪ 高力电磁执行器E单独提供E被雁EE在系统中

▪ 减少效载荷运动和由工作台引起皁E动皁E定时间

▪ 提高吞吐量、E辨玁E产釁E/p>

▪ 模块化设计允许用户持E一个完整皁EEE或绁EE以便OEM雁EE

▪ 自动谁E前馈参数以减少设置

 

见E

通用
稳定时间 0.2私E*
主动自由度 6
高度控制精度 < 10 µm at sensorsd>
线性执行器E水平和垂直EE/strong>
直流电阻 5 Ω
力常数 高达12磁E宁E| 55牁E宁E/td>
**连续劁E/td> 25磁E 110牁E/td>
峰值力@ 7 A 87磁E 385牁E/td>
电气时间常数 2.6毫私E/td>
行稁E/td> 0.25英寸 | 6.4毫米
横向间隁E/td> 0.09英寸 | 2.3毫米
杂散场 < 1 G @ 2 in.d>
尺寸E宽 x 深 x 高！E/td> 2.8 x 6.8 x 4.5英寸
71 x 173 x 114 mm
阀门EE*主动EE/strong>
阀门类垁E/td> 比例E/V伺朁E/td>
控制类垁E/td> 压力或气流E/td>
**流E 1.5 SCFM
耗气量EE个隔振器EE/td> < 2 SCFM (no stage motion)d>
- 3 dB响庁E/td> ≤10 HzEE型值E、E/td>
高度控制传感器
输E 非接触式感应（涡流EE/td>
电子E置 双线式NAMUR
三线30戁E8毫米直征E/td>
茁E 栁E15毫米E用亁E0毫米电线
栁E6毫米E用亁E8毫米电线
刁E玁E/td> < 1 µmd>
被动气动安裁E
栁E承重E劁E/td> 1,000、E,500、E,300、E,700磁E 80 PSI
阻尼EE0:1EE/td> < 3 sd>
DC-2020数字控制器
夁E器 双核EEbr /> DSP @ 150 MHz & Cortex M3 @ 75 MHz
模拟I/O 32/24通道EE6/16位！E/td>
釁E玁E/td> 栁E值为5 kHz
前面板 电源开关
3色状态指示灯
以太网RJ-45
MicroSD卡插槽
2个BNC插座E每个都可以作为输E端或输E端EEbr /> 2个USB 2.0端口EE型和Micro B型！Ebr /> FW十E按钮
后面板 电源输E
模拟I/O插座
气动端口
以太网RJ-45
1个USB 2.0
RS-232 DB 9
继电器插座
用户界面 通过USB或以太网的GUI
电溁E/td> 90-240 VACEE0-60 HzEE*100 W
尺寸E宽 x 深 x 高！E/td> 16.8 x 9.0 x 1.75英寸
427 x 229 x 45 mm
1个栁ERETMA单E
功率放大器
通道 8
每个通道皁E*电流E/td> 7 A
输E 线性
峰值功率 总共700瓦
冷却 环墁E强制通飁E/td>
保护 可复位保险丝、电子热保护、迁E、欠厁E/td>
操佁E/td> 遥控或手动
尺寸 1 RETMA机架单E高度 x 15英寸EE81毫米E深

*见E可能因配置而异、E/p>

**根据前馈控制和MaxDamp隔振器皁E动振幁E佁E0倍来确定定时间。实际皁Eldquo;振铁Erdquo;不受前馈技术皁E响、E/p>

 

应用说昁E/strong>

Electro-Damp®

在Precitech的Freeform L趁E寁E床上使用PEPS II-VX进衁E轴EEYZE测

夁E号EEnbsp;