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主动空气谁E系绁E/h4>

名称EE/span> 主动空气谁E系绁E/span>

型号EE/span> PEPS®II

品牌EE/span> TMC

  • 详绁E息

概述

PEPS® II建立在TMC皁E*PEPS®E精寁E子定位系统）基础上并对其进行亁E进。通迁E加新皁E字控制器EPEPS® II更易于使用E提供亁E多功能E还有一个改进的用户界面。PEPS®II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。这种系统通常匁E机械高度阀和机械高度传感连杆。E用匁E需要改喁E定时间和提高产量的半导体制造设夁E及需要E*噪声性能和平台稳定性皁E寁E验室环墁EEnbsp;

 

美国**号5,832,806

 

特点

▪ 数字控制E用户友好的LCD界面

▪ 用于Gimbal Piston™、CSP®和MaxDamp®隔振系统的非接触式电动气动高度控制

▪ Z轴位置重现性EE0微米

▪ 由于消除亁E统机械高度控制系统的杠杁E触E从而改喁EE振效果

▪ 气动前馈功能**限度地减少亁EEEX-Y平台运动皁E庁E/p>

▪ 可以谁E以快速稳由X-YE台引起皁E动

▪ 可选的“VX”功E雁EE亁E性传感器E用于动阻尼垁E直隔振器共振

▪ 丁Eldquo;软坞竁Erdquo;兼容。E许在没有运动安裁E惁EE下加载/卸载晶圁E/p>

▪ 相称皁E子E门、Eldquo;开关”或传统电子E不会产生脉冲噪声

▪ 排气管用于废气的渁E夁E

▪ 逻辑停靠控制和状态E/p>

 

见E

物琁E寸 PEPS® II控制器
1.72英寸EE3.7mmE髁Ex 8.0英寸EE03mmE宽 x 9.4英寸EE40 mmE深
重量 PEPS® II控制器E约3.0磁EE.2十EEEE/td>
环墁Ebr /> E参见EN 61010-1EE993,
EN 61010-1/A2: 1995EE/td> 		**室冁E用EE*髁E,000米海拔！E560英尺EEbr /> **允许温度茁EEE°C***35°C
**允许湿度EE1°C以下时为80EEE0°C时线性陁E**50EE对湿度
主电源电压容差EE5 VAC - 240 VAC
迁E压类别EE
污染等级EEEC 664E！E
通风要求：两侧间隁E5毫米E上下间隁E毫米
电源要汁E/td> 电源输E电压范围EE0-230 VAC
输E频率茁EEE0-60 Hz
PEPS® II用户界面
E前面板EE/td> 		电源开关
4个菜单按钮
LCD显示20 x 2个字符
2个诊断插座EENC型！Ebr /> 三色状态指示灯
USB 端口
PEPS® II 界面
E后面板EE/td> 		带EMI滤波器皁E流电源输E
1个空气输E卡入式端口E用亁E/4英寸外征E遁Ebr /> 1个空气输EE排气）卡入式端口E用亁E/4英寸外征E遁Ebr /> 4个空气卡入式端口E用亁E/4英寸外征E道（每个隔振器一个EEbr /> DB-25公头输E端-输E端和前馈插座
1个Phoenix 0.2英寸间跁E引E绿色接头E垂直接近传感器EEbr /> 1个Phoenix 3.5毫米间跁E引E黑色接头E水平接近传感器EEbr /> 接地螺纹螺柱E！E0-32螺纹EEbr /> DB-25 F插座EE个数字输E端EE个地霁E波器传感器接口EEldquo;-VX”选件EEbr /> DB-25 F插座EE个数字输E端EE个电流输E接近传感器E可选！E/td>
PEPS® II
性能见E		 模拟输EE单极E！E x 12位！E6位使用迁E样E！E ... 3.0 V满量稁Ebr /> 模拟输EE前馈）！E x 12佁Ebr /> EE6位使用迁E样E！Eplusmn;9 V满量稁Ebr /> 模拟输EE单极E保护EE5伏！E0.5 V限幁Ebr /> 模拟输EE前馈）保护EEplusmn;15伏限幁Ebr /> 模拟输EEE x 12位！E6位使用釁EE！E ... 3.0 V满量稁Ebr /> 模拟输EE可选）！E x 16位！E ... 3.0 V满量稁Ebr /> 模拟输E保护E无限短路保护EE5伏限幁Ebr /> 数字输E电压额定值EE ... +3.3 VEE5 V容差EE5伏限幁EEbr /> 数字输E额定值EE ... + 3.3 VEE*20 mA
数字I/O保护EE5伏！E0.5伏限幁Ebr /> 外部可用电源！E5 VDCEE*2.0 AEE15 VDCEE*1.0 AEE*20瓦EEbr /> 通讯端口EUSBE在PC上显示为RS-232
夁E器EARM7TDMI / 41.78 MHz
控制回路玁EE00 Hz - 2.0 KHz
接近传感器EE个垂直、EE个水平可选）涡流ENAMUR 0-20 mA输E
速度传感器 - 地霁E波器EEldquo;-VX”选件E！E个垂直E电流输E
气动见E **高度稳定性EEplusmn;50微米
**倾斜稳定性EEplusmn;50微弧度
伺服EEE x 双向可变节流孔比例伺服E
阀门技术E纯甲类
**输E压力EE20 PSI戁E.3巴戁E30 KPa
栁E耗气量EE0栁E十E刁EEE栁E立方英尺/刁EEEbr /> 空气要求：洁净、干燥皁E气，迁E***20微米或以丁Ebr /> 敁E安EE隔振器在电源故障E断电时会放氁Ebr /> 气动接头EEldquo;一触弁Erdquo;快速接头E适用亁E/4英寸外征E管

 

性能

夁E号EEnbsp;