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主动消振系绁E/h4>

名称EE/span> 主动消振系绁E/span>

型号EE/span> Stage-base 450

品牌EE/span> TMC

  • 详绁E息

概述

TMC继续在**技术皁E础上开发新皁E决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出皁E战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台皁E*半导体工具而设计皁E要消振系统。这些工具不佁E要E*有效皁E振性能E宁E还要求由平台引起皁E效载荷运动能够非常快速地稳定，以**限度地提工具吞吐量。通迁E加带有前馈控制的VCME可以缩短稳定时间E进一步提高吞吐量E从而为移动平台应E提侁E***皁E动振动和运动消除系统、E/p>

 

 

Stage-Base 450优势

Stage-Base 450釁E亁E一代主动硬安裁E电消振雁EE音圈技术、E/strong>只有TMC可以提供这种独特皁E*低消振串行型技术E通迁E用音圈电机EECME，实现亁E动移动平台运动消除、E/p>

Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术EE/strong>使用压电致动器和串行式架极E皁EE性悬架实现亁E*皁E振。这实现亁E亁E.6 Hz皁EE**地面隔振E响应于平台力的初始偏转明显更小、E/p>

 

见E

▪ 釁E独特的STACIS®技术

▪ 釁E高力E加长行程的压电致动器

▪ 有效载荷皁E置可重复性在微米以冁E/p>

▪ 桁E安裁E计

▪ 6个主动自由度

▪ 可选的VCM前馈和/或反馁E/p>

▪ 始亁E.6 Hz皁E动隔振

▪ 响应平台运动皁E速稳定时间

▪ 无软空气悬架

▪ 通过USB 2.0实现基于PC皁E形用户界面EEUIE的高速数字控制器

▪ 简单、坚固且经济高效

 

性能

 

 

应用照牁E/strong>

夁E号EEnbsp;