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技术皁E步也扩大亁E动隔振平台皁E用茁E

2021-04-19
　　技术皁E*也扩大亁E动隔振平台皁E用茁E
　　主动隔振平台可用于抵消工作环墁E灵敏度高的精寁E夁E生的不忁E振动E提高精寁E夁E性能E流线型的结构设计允许宁E缝地成为工作站环墁E一部刁E安裁E易并且不需后续皁EE。此外，该隔振平台拥有便携、紧凑型皁E计E可以非常轻松地安裁E工作台或老E面上、E/div>
　　主动隔振平台釁E**皁E性振动传感器、复杂皁E制算法和**皁E电致动器E通迁E续测量地板活动E扩大和收缩压电致动器迁E地板振动来进行实时振动隔离E在一开始的设计中E主要用亁E*半导体工厂的精寁E微光刻、计量和检测设夁E动隔离EE如今也可以成为嘈杂环墁E敏感仪器皁E业栁E解决方案，随着技术皁E断提升E该隔振平台广泛应用于半导体晶圁E、失效E析实验室、纳米技术研究、纳米加工设夁E材料研究、E/div>
　　相比于气浮支腿E主动隔振平台更加坚固可靠E且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。宁E气浮支撑，并且与主动皁E浮系统不同E可以放置在具有E部主动空气隔离系统的设夁E面E且两个隔振系统相互E容。此外，该隔振平台设计有独特皁E信串口和专有high-force压电技术导致其具有大皁E动带宽0.6赫兹到150赫兹E以及仁EHz开始主动振动消除性能可达到90%、E/div>
　　主动隔振平台在世界吁E有数百个成功安裁E例，对于大部刁E动敏感仪器来说都是琁E皁E动消除系统、E/div>

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